真空計又名真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。
 

　　校準麥氏真空計時,應注意以下六點:
 

　　(1)一般情況下,規(guī)管和系統(tǒng)連接時,先將未開封的規(guī)管和測量電路連接到一起試一下,檢查規(guī)管是否正常,然后再接到系統(tǒng)。
 

　　(2)在校準的過程中,如果出現(xiàn)故障,在原因不明的情況下,拿一支未開封的規(guī)管試一下,判斷是規(guī)管的問題,還是電路的問題。如果換上未開封的規(guī)管一切正常,說明原規(guī)管有問題;如果換上未開封的規(guī)管仍然不正常,說明電路有問題,這樣就縮小了故障的范圍。
 

　　(3)規(guī)管安裝時應豎直安裝,否則在加熱除氣,烘烤時柵極和陰極產(chǎn)生變形,相對位置變化,將會嚴重影響測量精度。
 

　　(4)在開燈絲前,判斷被測真空系統(tǒng)中的真空度確信小于10-1Pa時,才能開燈絲,否則真空度太低,導致規(guī)管陰極氧化而燒毀。
 

　　(5)在讀數(shù)之前,應先調整好發(fā)射電流、零點及滿度。具體步驟是: 發(fā)射電流—零點—滿度—發(fā)射電流。
 

　　(6)麥氏真空計只需要加電預熱10分鐘就可以校準了。
 

　　選用麥氏真空計時應該注意以下事項：
 

　　(1)在設備要求的壓強范圍內(nèi)，真空計是否有足夠的測量精度;
 

　　(2)被測氣體是否會對真空計造成損傷;
 

　　(3)真空計是否會對被測真空環(huán)境造成影響;
 

　　(4)真空計所測壓強是全壓還是分壓，是否已校準，是否與氣體種類有關;
 

　　(5)真空計能否實現(xiàn)連續(xù)測量，數(shù)值指示及反應時間如何;
 

　　(6)真空計的穩(wěn)定性、可靠性、壽命。